[发明专利]具有散热件的集成电路封装系统及其制造方法有效
申请号: | 201410475480.7 | 申请日: | 2014-09-17 |
公开(公告)号: | CN104465473B | 公开(公告)日: | 2018-05-01 |
发明(设计)人: | 金五汉;郑世逸;李喜秀;郑载翰;金永澈 | 申请(专利权)人: | 新科金朋有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L23/544 |
代理公司: | 北京嘉和天工知识产权代理事务所(普通合伙)11269 | 代理人: | 严慎,支媛 |
地址: | 新加坡新*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种集成电路封装系统及其制造方法,所述系统包括衬底;形成在所述衬底上的模盖;在所述模盖中刻划的基准标记;被施加在所述衬底上并且参照所述基准标记的热界面材料;以及安装在所述热界面材料上的散热件,所述散热件通过相对于所述基准标记对齐的定位缺口被准确地定位。 | ||
搜索关键词: | 具有 散热 集成电路 封装 系统 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种制造集成电路封装系统的方法,所述方法包括:在衬底上安装倒装芯片集成电路;在所述衬底上形成模盖;在所述模盖中刻划基准标记;在所述模盖上形成识读标记,所述识读标记与所述基准标记相比具有不同的形状;在所述衬底上以测定的图形施加热界面材料,所述热界面材料被定位在所述基准标记与所述识读标记之间,并且所述测定的图形被定位来在倒装芯片后侧和散热件之间不形成空隙;以及在所述热界面材料上安装散热件,所述散热件通过相对于所述基准标记对齐定位缺口被准确地定位,所述散热件完全在所述模盖和所述倒装芯片集成电路的顶部表面之上,并且热界面材料的一部分位于所述散热件和所述模盖之间,并且不延伸超过所述散热件的边缘。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新科金朋有限公司,未经新科金朋有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201410475480.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造