[发明专利]一种水平超长精密装备微振动控制系统

摘要

本发明公开了一种水平超长精密装备微振动控制系统，包括水平超长精密装备容器、主体结构支撑、垫板结构、内置工艺支撑平台、隔振装置、隔振装置支撑、真空波纹管密封连接构件、隔振平台和高刚性台座。本发明通过利用柔性真空波纹管密封连接构件将水平超长精密装备容器与内置工艺支撑平台分开，成为两个相对独立的支撑结构，使隔振平台只承担水平超长精密装备容器内部工艺结构的荷载。这种方式可以有效地对周围环境振动及动力设备振动，特别是附着在容器上的发振设备引起的机械振动进行隔离。实现在光学检测过程中，仅允许台面上出现微量的残余振动，且检测与被检设备振动相位一致，并避免由于抽真空变形和低温变形引入的对准误差。

主权项

一种水平超长精密装备微振动控制系统，包括水平超长精密装备容器、主体结构支撑、垫板结构、内置工艺支撑平台、隔振装置和隔振装置支撑，其特征在于：所述水平超长精密装备微振动控制系统还包括真空波纹管密封连接构件、隔振平台和高刚性台座，所述水平超长精密装备容器为真空密闭装备，通过所述垫板结构设置在主体结构支撑上，所述水平超长精密装备容器内部设置有所述内置工艺支撑平台，所述真空波纹管密封连接构件支撑所述内置工艺支撑平台并设置在所述隔振平台上，所述隔振平台的两端设置在所述隔振装置上面，所述隔振装置的底部设置在所述隔振装置支撑上，所述隔振平台的中间设置有所述高刚性台座。