[发明专利]太阳能发电支架液体镀层及测量一体装置在审
| 申请号： | 201410481877.7 | 申请日： | 2014-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN104241159A | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 薛黎明;刘伯昂 | 申请（专利权）人： | 中海阳能源集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 102200 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了太阳能发电支架液体镀层及测量一体装置，包括镀液池、第一轴电机、第一伸缩杆、第二轴电机、第二伸缩杆、第三轴电机和超声收发器；其中，第一轴电机固定于镀液池顶部，第一轴电机的转动部上沿其转轴方向设置有第一伸缩杆，第一伸缩杆伸缩端固定有第二轴电机，第二轴电机的转动部上垂直其转轴方向设置有第二伸缩杆，第二伸缩杆伸缩端设置有第三轴电机，第三轴电机的转动部上安装有超声收发器，以镀液为介质根据超声收发器接收的反射波对支架进行测量。该一体装置能够实现太阳能发电支架液体镀层工艺，同时利用液体镀液对声、光等物理波的传输特性对结构件进行定位测量，将镀层和测量工序集成于空间一体。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能 发电 支架 液体 镀层 测量 一体 装置 | ||
【主权项】：
太阳能发电支架液体镀层及测量一体装置，其特征在于，包括镀液池、第一轴电机、第一伸缩杆、第二轴电机、第二伸缩杆、第三轴电机和超声收发器；其中，所述第一轴电机固定于所述镀液池顶部，第一轴电机的转动部上沿其转轴方向设置有所述第一伸缩杆，第一伸缩杆伸缩端固定有所述第二轴电机，第二轴电机的转动部上垂直其转轴方向设置有所述第二伸缩杆，第二伸缩杆伸缩端设置有所述第三轴电机，第三轴电机的转动部上安装有所述超声收发器，以镀液为介质根据所述超声收发器接收的反射波对支架进行测量。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
