[发明专利]集成像元级聚光透镜的红外探测器及其制备方法在审
| 申请号： | 201410486239.4 | 申请日： | 2014-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN104310300A | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 姜利军 | 申请（专利权）人： | 杭州大立微电子有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;G01J5/10 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 孙佳胤;高翠花 |
| 地址： | 310053 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种集成像元级聚光透镜的红外探测器及其制备方法，集成像元级聚光透镜的红外探测器包括衬底及多个设置在衬底上的红外探测器像元，还包括多个密封盖及多个聚光透镜，每一密封盖包围一红外探测器像元，形成一容纳红外探测器像元的密封腔，每一密封盖的顶部外表面设置一聚光透镜，以将红外辐射汇聚到每一红外探测器像元上。本发明的优点在于，聚光透镜与红外探测器像元实现光刻级的对准，有效提高聚光透镜与红外探测器像元之间的对准精度，提高聚光透镜的汇聚效率。同时，聚光透镜的制作工艺与像元级的真空封装工艺结合，可以有效地提高红外探测器的集成度，减小探测器体积，降低制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 像元级 聚光 透镜 红外探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种集成像元级聚光透镜的红外探测器，包括衬底及多个设置在所述衬底上的红外探测器像元，其特征在于，还包括多个密封盖及多个聚光透镜，每一所述密封盖包围一红外探测器像元，形成一容纳所述红外探测器像元的密封腔，每一所述密封盖的顶部外表面设置一所述聚光透镜，以将红外辐射汇聚到每一所述红外探测器像元上。
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