[发明专利]防止光刻胶结晶的方法

摘要

本发明提供了一种防止光刻胶结晶的方法，在回吸光刻胶后，将光刻胶稀释溶剂吸入喷嘴中，可以将残留在喷嘴前端及内壁处的光刻胶溶解，避免在喷嘴生成光刻胶结晶，并尽可能减少喷嘴内壁处光刻胶结晶；进一步，在回吸光刻胶后，排出部分回吸时吸入的空气，可保证以空气隔离喷嘴内光刻胶与光刻胶稀释溶剂的同时，减少喷嘴内的空气，减少参与光刻胶结晶的空气，并增加光刻胶稀释溶剂覆盖的喷嘴内壁的范围，最大程度溶解喷嘴内壁残留光刻胶，在达到更好的防止光刻胶结晶的效果的同时，降低光刻胶空喷的损耗，进而节约工艺成本。

主权项

1.一种防止光刻胶结晶的方法，其特征在于，包括：通过喷嘴向晶圆喷洒光刻胶并在晶圆表面形成光刻胶涂层；对喷嘴中存留的光刻胶进行回吸，以在喷嘴中吸入空气；将喷嘴置于光刻胶稀释溶剂中，并吸取光刻胶稀释溶剂；其中，在对喷嘴中存留的光刻胶进行回吸之后，且吸取光刻胶稀释溶剂之前，还包括排出部分回吸时吸入的空气的步骤。