[发明专利]感光性组合物及图案状透明体在审
申请号: | 201410487912.6 | 申请日: | 2014-09-22 |
公开(公告)号: | CN104516202A | 公开(公告)日: | 2015-04-15 |
发明(设计)人: | 堀田佑策;木村佑希;近藤学 | 申请(专利权)人: | 捷恩智株式会社 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G03F7/008 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 臧建明 |
地址: | 日本东京千代*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明为一种感光性组合物及使用其的图案状透明体,所述感光性组合物含有:碱可溶性聚合物(A)、多官能环氧化合物(B)、具有聚合性双键的化合物(C)、光聚合引发剂(D)、1,2-醌二叠氮化合物(E)、及溶剂(F)。此处,碱可溶性聚合物(A)是使含有具有羧基的自由基聚合性单体(a1)与其他自由基聚合性单体(a2)的自由基聚合性单体混合物聚合而获得,但具有羧基的自由基聚合性单体(a1)与其他自由基聚合性单体(a2)均不具有环氧基或氧杂环丁基。通过本发明,提供一种感光性组合物,所述感光性组合物即便在使用近接式曝光机的情况下,也可形成与掩模尺寸为大致相同大小的图案状透明体,且可耐受40℃以上的保存或使用。 | ||
搜索关键词: | 感光性 组合 图案 透明体 | ||
【主权项】:
一种感光性组合物,其特征在于含有:碱可溶性聚合物(A)、多官能环氧化合物(B)、具有聚合性双键的化合物(C)、光聚合引发剂(D)、1,2‑醌二叠氮化合物(E)、及溶剂(F);碱可溶性聚合物(A)是使含有具有羧基的自由基聚合性单体(a1)与其他自由基聚合性单体(a2)的自由基聚合性单体混合物聚合而获得,且具有羧基的自由基聚合性单体(a1)与其他自由基聚合性单体(a2)均不具有环氧基或氧杂环丁基。
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