[发明专利]感光性组合物及图案状透明体在审

专利信息
申请号: 201410487912.6 申请日: 2014-09-22
公开(公告)号: CN104516202A 公开(公告)日: 2015-04-15
发明(设计)人: 堀田佑策;木村佑希;近藤学 申请(专利权)人: 捷恩智株式会社
主分类号: G03F7/027 分类号: G03F7/027;G03F7/008
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 臧建明
地址: 日本东京千代*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明为一种感光性组合物及使用其的图案状透明体,所述感光性组合物含有:碱可溶性聚合物(A)、多官能环氧化合物(B)、具有聚合性双键的化合物(C)、光聚合引发剂(D)、1,2-醌二叠氮化合物(E)、及溶剂(F)。此处,碱可溶性聚合物(A)是使含有具有羧基的自由基聚合性单体(a1)与其他自由基聚合性单体(a2)的自由基聚合性单体混合物聚合而获得,但具有羧基的自由基聚合性单体(a1)与其他自由基聚合性单体(a2)均不具有环氧基或氧杂环丁基。通过本发明,提供一种感光性组合物,所述感光性组合物即便在使用近接式曝光机的情况下,也可形成与掩模尺寸为大致相同大小的图案状透明体,且可耐受40℃以上的保存或使用。
搜索关键词: 感光性 组合 图案 透明体
【主权项】:
一种感光性组合物,其特征在于含有:碱可溶性聚合物(A)、多官能环氧化合物(B)、具有聚合性双键的化合物(C)、光聚合引发剂(D)、1,2‑醌二叠氮化合物(E)、及溶剂(F);碱可溶性聚合物(A)是使含有具有羧基的自由基聚合性单体(a1)与其他自由基聚合性单体(a2)的自由基聚合性单体混合物聚合而获得,且具有羧基的自由基聚合性单体(a1)与其他自由基聚合性单体(a2)均不具有环氧基或氧杂环丁基。
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