[发明专利]一种钽钌合金靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201410489527.5 | 申请日： | 2014-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN104233205A | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 邵玲;王广欣;赵学义 | 申请（专利权）人： | 昆山海普电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫;汪青 |
| 地址： | 215311 江苏省苏州市昆山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种钽钌合金靶材的制备方法，包括依次进行的如下步骤：将钽粉和钌粉混合均匀后进行冷等静压压成块状，然后真空烧结；真空烧结之后再进行真空电子束熔炼获得高纯钽钌合金锭；将高纯钽钌合金锭进行径向热锻和退火处理；接着进行纵向墩粗和退火处理；然后进行热轧、冷轧、再结晶退火处理；最后将高纯钽钌合金锭与背板焊接即得所述的钽钌合金靶材。本发明将钽钌合金锭进一步滴熔成纯度更高、氧含量更低的高纯钽钌合金锭，在这过程中，一些低熔点的杂质可以通过挥发而被除去；另外，本发明通过径向热锻、纵向墩粗、热轧、冷轧等步骤，使得钽钌合金锭的晶粒小于100微米。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种钽钌合金靶材的制备方法，其特征在于：包括依次进行的如下步骤：（1）、将纯度大于等于99.95%的钽粉和纯度大于等于99.95%的钌粉混合均匀后进行冷等静压压成块状，然后真空烧结；（2）、真空烧结之后再进行真空电子束熔炼，获得纯度大于等于99.995%、氧含量低于50ppm的高纯钽钌合金锭；（3）、将所述的高纯钽钌合金锭在950℃~1300℃下进行径向热锻，然后进行退火处理；（4）、将经步骤（3）处理后的高纯钽钌合金锭在950℃~1300℃下进行纵向墩粗，然后进行退火处理；（5）、将经步骤（4）处理后的高纯钽钌合金锭在850℃~950℃下进行热轧，然后在10℃~30℃下进行冷轧，然后再在800℃~900℃下进行再结晶退火处理；（6）、将经步骤（5）处理后的高纯钽钌合金锭与背板焊接即得所述的钽钌合金靶材。
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