[发明专利]具有场电极的晶体管器件

摘要

本发明涉及具有场电极的晶体管器件。一种晶体管器件包含源区域、漂移区域和布置在该源区域与该漂移区域之间的基体区域。栅电极与该基体区域相邻并且通过栅电介质被电介质绝缘于该基体区域。场电极布置与漂移区域和基体区域相邻，在第一方向上与栅电极间隔开，并且包含场电极和场电极电介质，该第一方向与在其中源区域和漂移区域是间隔开的垂直方向正交。该场电极电介质将该场电极至少与该漂移区域电介质绝缘。该场电极布置具有与漂移区域相邻的第一宽度和与基体区域相邻的第二宽度并且该第一宽度大于该第二宽度。

主权项

1.一种晶体管器件，包括：源区域、漂移区域和布置在所述源区域与所述漂移区域之间的基体区域；栅电极，与基体区域相邻并且通过栅电介质与基体区域电介质绝缘；以及场电极结构，包括场电极和场电极电介质，所述场电极结构与漂移区域和基体区域相邻并且在第一方向上与栅电极间隔开，所述第一方向与源区域和漂移区域被间隔开所沿的垂直方向正交；其中所述场电极电介质将所述场电极至少与所述漂移区域电介质绝缘，其中所述场电极结构具有与漂移区域相邻的基本恒定的第一宽度和与基体区域相邻的基本恒定的第二宽度，并且其中所述第一宽度大于所述第二宽度；其中所述栅电极是在垂直方向上的槽电极。