[发明专利]复合硅基材料及其制法和应用

摘要

本发明提供了一种复合硅基材料及其制法和应用。具体的，本发明提供了一种复合硅基材料，该材料包括p型硅基底；位于所述p型硅基底至少一个主表面的带负电的钝化膜；所述钝化膜包括至少一层带负电的掺杂态氧化硅层，且所述掺杂态氧化硅层中使所述氧化硅层带负电的掺杂元素的含量为0.01～10％，按所述掺杂元素所在掺杂态氧化硅层的总原子数计。本发明的复合硅基材料含带大量负电荷的钝化膜，钝化膜对硅基底可起到优异的钝化效果，且该材料的制备成本低廉，在应用于太阳电池时能有效提高太阳的电池的转化效率。

主权项

一种复合硅基材料，其特征在于，所述复合硅基材料包括：p型硅基底；位于所述p型硅基底至少一个主表面的带负电的钝化膜；所述钝化膜包括至少一层带负电的掺杂态氧化硅层，且所述掺杂态氧化硅层中使所述氧化硅层带负电的掺杂元素的含量为0.01～10％，按所述掺杂元素所在掺杂态氧化硅层的总原子数计；且所述钝化膜总体带负电量，且所述钝化膜所带的负电荷密度为1012～1013cm‑2。