[发明专利]基板划伤程度的检测装置及其检测方法、检测系统有效
| 申请号： | 201410495906.5 | 申请日： | 2014-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN104297147A | 公开（公告）日： | 2015-01-21 |
| 发明（设计）人： | 毛继禹;张然 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N19/00 | 分类号： | G01N19/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明具体涉及一种基板划伤程度的检测装置及其检测方法、检测系统。该基板划伤程度的检测装置，被测基板包括衬底以及设置于衬底上方的膜层，包括探测单元和判断单元，探测单元，包括探针和设置于探针上的速度检测模块、压力控制模块，探针的底端用于与被测基板接触，速度检测模块用于获取探针在被测基板的实时速度并将实时速度传送至判断单元；压力控制模块用于对探针施加恒定的压力，以使得探针接触被测基板的压力保持不变；判断单元，用于接收探针的实时速度，并根据实时速度判断被测基板的划伤程度。有益效果为：能严格地检测基板划伤程度，确保存在衬底划伤的基板不会进入后续产线，有效杜绝存在衬底划伤的基板对重要设备造成影响。 | ||
| 搜索关键词： | 划伤 程度 检测 装置 及其 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种基板划伤程度的检测装置，被测基板包括衬底以及设置于所述衬底上方的膜层，其特征在于，包括探测单元和判断单元，其中：所述探测单元，包括探针和设置于所述探针上的速度检测模块、压力控制模块，所述探针的底端用于与所述被测基板接触，所述速度检测模块用于获取所述探针在所述被测基板的实时速度并将所述实时速度传送至所述判断单元；所述压力控制模块用于对所述探针施加恒定的压力，以使得所述探针接触所述被测基板的压力保持不变；所述判断单元，用于接收所述探针的所述实时速度，并根据所述实时速度判断所述被测基板的划伤程度。
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