[发明专利]光学装置、投影光学系统、曝光装置及物品的制造方法

摘要

本发明提供一种光学装置、投影光学系统、曝光装置以及物品的制造方法。该光学装置用于使镜的反射面变形，所述光学装置包括底板；多个第一致动器，其各自被构造为向与所述反射面相背对的面施加力；多个第二致动器，其各自具有比所述第一致动器低的刚度，并且被构造为向与所述反射面相背对的面施加力；传感器，其被构造为检测表示所述多个第一致动器中的各个的驱动状态的信息；以及控制单元，其被构造为基于所述传感器的输出，以将所述反射面的形状改变为目标形状的方式对所述多个第一致动器中的各个的驱动以及所述多个第二致动器中的各个的驱动进行控制。

主权项

一种用于使镜的反射面变形的光学装置，该光学装置包括：底板；多个第一致动器，其各自具有连接到与所述镜的所述反射面相背对的面的第一端子以及连接到所述底板的第二端子，并且所述多个第一致动器被构造为通过改变所述第一端子与所述第二端子之间的距离以使所述镜的反射面变形，来向与所述反射面相背对的面施加力；多个第二致动器，其各自具有比所述第一致动器低的刚度，布置在所述镜与所述底板之间，并且所述多个第二致动器被构造为向与所述反射面相背对的面施加力以使所述镜的反射面变形，其中，所述多个第二致动器中的各个包括彼此不接触的定子和可动元件，并且所述定子和所述可动元件中的一个被固定至所述镜，并且另一个被固定至所述底板；多个传感器，其被构造为检测表示所述多个第一致动器的驱动状态的信息；以及控制单元，其被构造为基于由所述多个传感器检测到的信息，确定所述多个第一致动器中的各个的驱动命令值和所述多个第二致动器中的各个的驱动命令值，以使所述反射面的形状改变为目标形状，并且基于所确定的驱动命令值，对所述多个第一致动器中的各个的驱动以及所述多个第二致动器中的各个的驱动进行控制，其中，所述多个第一致动器以在相邻的第一致动器之间布置有所述多个第二致动器中的至少一个的方式彼此分开布置。