[发明专利]射频输送路径的阻抗的控制有效
| 申请号： | 201410499774.3 | 申请日： | 2014-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN104517795B | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 阿列克谢·马拉霍塔诺夫;拉金德尔·迪恩赛;肯·卢彻斯;卢克·奥巴伦德 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/244 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所31263 | 代理人： | 李献忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及射频输送路径的阻抗的控制。等离子体系统包括射频发生器以及包括阻抗匹配电路的匹配盒，该匹配盒经由射频电缆联接到所述射频发生器。所述等离子体系统包括卡盘以及经由射频线联接到所述匹配盒的等离子体反应器。射频线形成射频供应路径的一部分，所述射频供应路径从所述射频发生器延伸通过所述匹配盒并且延伸到所述卡盘。等离子体系统进一步包括联接到所述阻抗匹配电路与所述卡盘之间的所述射频供应路径上的相位调节电路。所述相位调节电路的一端联接到所述射频供应路径并且另一端接地。所述等离子体系统包括联接到所述相位调节电路的控制器。所述控制器用于根据调节配方改变所述相位调节电路的参数以控制所述射频供应路径的阻抗。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 输送 路径 阻抗 控制 | ||
【主权项】：
一种等离子体系统，其包括：射频(RF)发生器；匹配盒，其包括阻抗匹配电路，该阻抗匹配电路经由射频电缆联接到所述射频发生器；等离子体反应器，其经由射频供应路径的一部分联接到所述匹配盒，所述等离子体反应器包括卡盘，所述射频供应路径从所述射频发生器延伸通过所述匹配盒并且延伸到所述卡盘；相位调节电路，其联接到所述阻抗匹配电路与所述卡盘之间的所述射频供应路径的所述部分，所述相位调节电路具有联接到所述射频供应路径的所述部分上的连接点的第一端和接地的第二端；以及控制器，其联接到所述相位调节电路，所述控制器用于根据调节配方改变所述相位调节电路的参数以控制所述射频供应路径的阻抗。
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