[发明专利]一种化学机械研磨组合物

摘要

本发明公开了一种化学机械研磨组合物，其包括研磨粒、氧化剂、腐蚀抑制剂和水；其中，所述研磨粒为涂布金属化合物之研磨粒。本发明具有快速的钨金属移除速度、并且有效的控制插孔凹陷，具有广泛的应用前景。

主权项

一种化学机械研磨组合物，其特征在于，所述研磨组合物包括：涂布金属化合物之研磨粒、氧化剂、腐蚀抑制剂和水；其中，所述腐蚀抑制剂为胺‑N‑氧化物，选自吡啶‑N‑氧化物、吗啉‑N‑氧化物、喹啉‑N‑氧化物、吡嗪‑N‑氧化物、嘧啶‑N‑氧化物、哒嗪‑N‑氧化物、或吡咯啉‑N‑氧化物中的一种或多种；所述研磨粒为气相二氧化硅、二氧化硅溶胶、气相氧化铝或其任意组合；所述氧化剂为过氧化氢；所述研磨组合物的pH值为2‑6；所述涂布金属化合物之研磨粒含量为0.1％‑5％重量百分比，所述氧化剂含量为1％‑10％重量百分比，所述腐蚀抑制含量为10ppm‑5000ppm重量百分比，余量为水。