[发明专利]用于研磨蓝宝石基板的研磨组合物及其应用有效
申请号: | 201410509452.2 | 申请日: | 2014-09-28 |
公开(公告)号: | CN104327741A | 公开(公告)日: | 2015-02-04 |
发明(设计)人: | 顾泉 | 申请(专利权)人: | 顾泉 |
主分类号: | C09G1/02 | 分类号: | C09G1/02 |
代理公司: | 上海麦其知识产权代理事务所(普通合伙) 31257 | 代理人: | 董红曼 |
地址: | 201203 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了用于研磨蓝宝石基板的研磨组合物,其包括研磨粒、安定剂、界面活性剂和水;其中,研磨粒含量为15%-40%重量百分比,安定剂含量为0.005%-0.5%重量百分比,界面活性剂含量为0.005%-1%重量百分比。本发明具有快速移除速率、控制研磨温度并得到极小表面粗糙度、且有效去除基板凹陷、划痕等缺陷等优点,具有广泛应用前景。 | ||
搜索关键词: | 用于 研磨 蓝宝石 组合 及其 应用 | ||
【主权项】:
一种用于研磨蓝宝石基板的研磨组合物,其特征在于,所述研磨组合物包括研磨粒、安定剂、界面活性剂和水;其中,所述研磨粒含量为15%‑40%重量百分比;所述安定剂含量为0.005%‑0.5%重量百分比;所述界面活性剂含量为0.005%‑1%重量百分比。
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