[发明专利]喷头装置有效

专利信息
申请号: 201410512483.3 申请日: 2014-09-29
公开(公告)号: CN105437083B 公开(公告)日: 2018-11-06
发明(设计)人: 代迎伟;金一诺;王坚;王晖 申请(专利权)人: 盛美半导体设备(上海)有限公司
主分类号: B24B57/02 分类号: B24B57/02
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 陆嘉
地址: 201203 上海市浦东新*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明揭示了一种喷头装置,包括:缓冲部、喷头本体、调节装置、电极及气泡隔离部件。缓冲部设有缓冲腔、进液端和出液端。喷头本体设有喷嘴、数个液体出口和与喷嘴相连接的顶盖。调节装置包括遮挡在数个液体出口上方并位于顶盖下方的遮挡部件及位于缓冲腔内的致动部件,致动部件与遮挡部件联动。遮挡部件和液体出口之间形成能调节的间隙,经缓冲部输出的液体的一部分由喷嘴输出,另一部分由间隙溢出,致动部件根据输入至缓冲部的液体的量的大小移动,致动部件与遮挡部件的联动调节间隙的大小以改变由间隙溢出的液体的量,使得由喷嘴输出的液体的量维持稳定。电极设置在缓冲腔的内壁并靠近缓冲部的出液端。气泡隔离部件与喷头本体连接并位于缓冲腔内,气泡隔离部件阻止电极处产生的气泡进入喷头本体的喷嘴。
搜索关键词: 喷头 装置
【主权项】:
1.一种喷头装置,其特征在于,包括:缓冲部,所述缓冲部设有缓冲腔、进液端和出液端;喷头本体,所述喷头本体固定在缓冲部的出液端,喷头本体设有喷嘴、数个液体出口和与喷嘴相连接的顶盖,喷头本体的喷嘴和数个液体出口分别与缓冲部的出液端连接;调节装置,所述调节装置包括遮挡在数个液体出口上方并位于顶盖下方的遮挡部件及位于缓冲腔内的致动部件,所述致动部件与遮挡部件联动;电极,所述电极设置在缓冲腔的内壁并靠近缓冲部的出液端;气泡隔离部件,所述气泡隔离部件与喷头本体连接并位于缓冲腔内,气泡隔离部件阻止电极处产生的气泡进入喷头本体的喷嘴;其中,所述遮挡部件和液体出口之间形成能调节的间隙,经缓冲部输出的液体的一部分由喷嘴输出,另一部分由所述间隙溢出,所述致动部件根据输入至缓冲部的液体的量的大小移动,致动部件与遮挡部件的联动调节间隙的大小以改变由所述间隙溢出的液体的量,使得由所述喷嘴输出的液体的量维持稳定。
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