[发明专利]用于检查微观样本的光显微镜和显微镜学方法有效
| 申请号： | 201410521200.1 | 申请日： | 2014-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN104515469B | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 赫尔穆特·利珀特;尼尔斯·兰霍尔茨 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G02B21/06 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 鲁山;孙志湧 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及用于检查微观样本的光显微镜和显微镜学方法。根据本发明，该显微镜学方法的其特征在于：在不同样本记录的高度测量范围相互重叠的高度，记录样本记录；在两个分别的样本记录中，识别共同横向区域；对共同横向区域，能在两个样本记录中获得高度信息；并且在用于至少一个共同横向区域的不同样本记录的高度信息的基础上，确定不同样本记录的高度信息的联系。本发明另外基于相应的光显微镜。 | ||
| 搜索关键词： | 样本记录 显微镜 高度信息 横向区域 微观样本 高度测量 检查 记录 | ||
【主权项】：
1.一种用于检查微观样本(50)的显微镜学方法，其中，通过光源设备(10)，将照明光(11)发射到所述样本(50)，其中，通过光学成像装置(39，40)，将来自所述样本(50)的样本光(55)引导到检测器单元(30)，其中，通过所述检测器单元(30)，测量所述样本光(55)来产生样本记录，其中，从每一样本记录，获得用于所述样本(50)的分别的多个横向区域(x1‑x4)的高度信息，其中，将每一样本记录的高度信息限定到各自的高度测量范围(4，5)，并且不同样本记录的高度测量范围(4，5)相互不同，并且其中，由所述样本记录计算整合不同样本记录的高度信息的整体图像，其特征在于：在使得不同样本记录的所述高度测量范围(4，5)相互重叠的高度，记录样本记录，在两个分别的样本记录中识别共同横向区域(x3)，对所述共同横向区域(x3)，能在两个样本记录中获得高度信息，在至少一个共同横向区域(x3)的不同样本记录的高度信息的基础上，确定不同样本记录的高度信息之间的联系，对每一样本记录，确定并选择高度位于各自的高度测量范围(4，5)内的横向区域(x1，x3；x2，x3)，并且仅使用这些被选择的横向区域(x1，x3；x2，x3)的高度信息来计算所述整体图像。
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