[发明专利]一种用于光刻胶剥离的剥离液

摘要

本申请公开了一种用于光刻胶剥离的剥离液。本申请剥离液包括重量份2‑15％有机胺化合物、75‑97.5％有机溶剂和0.2‑10％添加剂；有机胺化合物为MEA、DEA、TEA、MMEA和MDEA中至少两种；有机溶剂由二乙醇类溶剂和酰胺类溶剂组成，前者选自BDG、甲基卡必醇、二乙二醇叔丁基醚和二乙二醇乙醚的至少一种，后者选自NMF、DMF和DMAC的至少一种；添加剂为环己醇六磷酸脂、氨基酸的碱盐、BTA、1‑HBTA、TACM和DMNA的至少一种。本申请的剥离液，用两种以上有机胺与混合溶剂配合使用，剥离快；添加剂能防止金属腐蚀，和机溶剂都有较好的亲水性，可避免光刻胶再附着、残留，且环境污染小。

主权项

1.一种用于光刻胶剥离的剥离液，其特征在于：所述剥离液的主要作用成分由重量份2‑15％的有机胺化合物、75‑97.5％的有机溶剂和0.2‑10％的添加剂组成；所述有机胺化合物由乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺组成；所述有机溶剂由30‑80重量份的二乙醇类溶剂和10‑60重量份的酰胺类溶剂混合而成，所述二乙醇类溶剂为二乙二醇甲醚，所述酰胺类溶剂为N‑甲基甲酰胺；所述添加剂选自环己醇六磷酸脂、氨基酸的碱盐、苯并三氮唑、1‑羟基苯并三氮唑、3‑羟基甲酯‑1,2,4‑三氮唑和二巯基噻二唑二钠盐中的至少一种。