[发明专利]具有填埋式彩色滤光片的图像传感器及其制备方法

摘要

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种具有填埋式彩色滤光片的图像传感器及其制备方法，通过提供一具有引线的键合晶圆，并在键合晶圆上进行金属隔离栅制备工艺与填埋彩色滤光片的填埋工艺后，刻蚀暴露出引线开口，最终将彩色滤光片工艺与引线工艺结合在一起；本发明的实施方案较为简单、实现难度相对较小，能大大提高输出图像信号的传输速度与成像质量，同时该技术方案可以应用于前照式、背照式以及堆栈式等图像传感器中。

主权项

一种具有填埋式彩色滤光片的图像传感器，其特征在于，包括：一键合晶圆，所述键合晶圆包括第一晶圆和键合第一晶圆之上的第二晶圆；所述第二晶圆顶部具有一沟槽，所述沟槽中设置有一顶部具有开口的引线；所述第二晶圆与所述引线除开口外的上方覆盖一层第二介电层，所述第二介电层填充所述沟槽；除沟槽上方的所述第二介电层的上表面设置有若干等距间隔的金属隔离栅；相邻所述金属隔离栅之间设置有彩色滤光片，且所述彩色滤光片的顶部与所述金属隔离栅的顶部齐平。