[发明专利]振子、振荡器、电子设备及移动体无效
| 申请号： | 201410527752.3 | 申请日： | 2014-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN104579223A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | 山田明法 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/19 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供振子、振荡器、电子设备及移动体，它们的可靠性品质高，振动特性稳定，并且具有高Q值。MEMS振子(100)具有：基板(1)；支承部(26)，其连接到基板(1)上；基部(22)，其连接到支承部(26)上；以及多个振动部(24)，其与基板(1)相离并从基部(22)向彼此不同的方向延伸，而且相邻的振动部(24)以彼此相反的相位振动，基部(22)具有振动的波节，在俯视时，支承部(26)的至少一部分与振动的波节重叠。 | ||
| 搜索关键词： | 振荡器 电子设备 移动 | ||
【主权项】：
一种振子，其特征在于，所述振子具有：基板；支承部，其配置在所述基板上；基部，其配置在所述支承部上，并具有振动的波节；以及从所述基部延伸出的振动部，在俯视时，所述支承部的至少一部分与所述振动的波节重叠。
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