[发明专利]一种直流磁控溅射镀膜电源快速灭弧电路

摘要

本发明公开了一种直流磁控溅射镀膜电源快速灭弧电路，包括第一功率开关管和第二功率开关管，所述第一功率开关管串联在直流电源输出端上，所述第二功率开关管与所述直流电源的输出端并联，且所述第二功率开关管一端并联接到所述第一功率开关管和所述直流电源的输入端之间；所述第二功率开关管与缓冲储能电路并联；所述第一功率开关管和第二功率开关管的控制极均与控制驱动器连接。本发明电路结构简单，体积小，实时性强，方便现有电源加装改造。本发明可以使电源工作于频繁产生打弧的工艺条件下，极大地降低打弧的能量，提高溅射沉积薄膜的质量。

主权项

一种直流磁控溅射镀膜电源快速灭弧电路，其特征在于，包括第一功率开关管和第二功率开关管，所述第一功率开关管串联在直流电源输出端上，所述第二功率开关管与所述直流电源的输出端并联，且所述第二功率开关管一端并联接到所述第一功率开关管和所述直流电源的输入端之间；所述第二功率开关管与缓冲储能电路并联；所述第一功率开关管和第二功率开关管的控制极均与控制驱动器连接；当发生打弧现象时，所述控制驱动器控制第一功率开关管关断，所述直流电源电感产生的能量转移到所述缓冲储能电路中然后开通第二功率开关管，待所述缓冲储能电路放电结束后，所述控制驱动器控制所述第二功率开关管关断，并开通所述第一功率开关管。