[发明专利]多层衍射光学元件偏心误差分析方法在审
| 申请号： | 201410539128.5 | 申请日： | 2014-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN104237992A | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 薛常喜;高龙 | 申请（专利权）人： | 长春理工大学 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 陶尊新 |
| 地址： | 130022 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 多层衍射光学元件偏心误差分析方法属于光学设计技术领域。在现有技术中还没有一种科学、可靠的偏心误差对衍射效率的影响的分析方法。本发明之多层衍射光学元件偏心误差分析方法包括以下四个步骤：1、根据多层衍射光学元件位相延迟表达式和衍射效率公式，求出连续面型或者台阶面型多层衍射光学元件的衍射效率；2、在整个工作波段内，根据多色光积分衍射效率理论，确定多色光积分平均衍射效率；3、在整个工作波段内，确定多色光积分衍射效率最大值，以及对应的工作波长，所述对应的工作波长即为设计波长，将设计波长代入微结构高度公式，确定各层衍射元件微结构高度值；4、根据波动光学模型，推导出含有偏心误差的多层衍射光学元件的衍射效率表达式。 | ||
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【主权项】：
一种多层衍射光学元件偏心误差分析方法，其特征在于，该方法包括以下四个步骤：(1)根据多层衍射光学元件位相延迟表达式和衍射效率公式，求出连续面型或者台阶面型多层衍射光学元件的衍射效率；(2)在整个工作波段内，根据多色光积分衍射效率理论，确定多色光积分平均衍射效率；(3)在整个工作波段内，确定多色光积分衍射效率最大值，以及对应的工作波长，所述对应的工作波长即为设计波长，将设计波长代入微结构高度公式，确定各层衍射元件微结构高度值；(4)根据波动光学模型，推导出含有偏心误差的多层衍射光学元件的衍射效率表达式。
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