[发明专利]一种改善图案化蓝宝石衬底良品率的方法有效
| 申请号： | 201410540402.0 | 申请日： | 2014-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN104377285A | 公开（公告）日： | 2015-02-25 |
| 发明（设计）人： | 王晓靁;刘伯彦;徐常基;钟其龙 | 申请（专利权）人： | 厦门润晶光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/20 | 分类号： | H01L33/20;H01L33/00 |
| 代理公司： | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人： | 李宁 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开一种改善图案化蓝宝石衬底良品率的方法，其步骤是：在蓝宝石上进行多层阻挡层涂覆；在阻挡层上进行黄光微影制程；在阻挡层上进行多层阻挡层蚀刻；在蓝宝石上进行蓝宝石蚀刻；清洗。本发明可以克服表面不平整问题，使得光刻工艺得以顺利施行，且成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改善 图案 蓝宝石 衬底 良品率 方法 | ||
【主权项】：
一种改善图案化蓝宝石衬底良品率的方法，其特征在于步骤是：第一步，在蓝宝石上进行多层阻挡层涂覆； 第二步，在阻挡层上进行黄光微影制程；第三步，在阻挡层上进行多层阻挡层蚀刻；第四步，在蓝宝石上进行蓝宝石蚀刻；第五步，清洗。
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