[发明专利]一种用于桌面STEPPER光刻机的投影物镜有效
| 申请号： | 201410543114.0 | 申请日： | 2014-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN104238092A | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 刘俊伯;程依光;赵立新;胡松 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B13/22 | 分类号： | G02B13/22;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 成金玉;李新华 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于桌面STEPPER光刻机的投影物镜，其采用了双远心、14片结构，工作波长为i线(365nm)。该物镜光学共轭总长(物方到像方)L＝500mm，物方、像方工作距均为60mm。物方有效视场为75mm×75mm，物方数值孔径NA＝0.055。经过面型优化和机械结构微调后，该光刻投影物镜像方分辨力能达到<5mm。该光刻机的投影物镜的数值孔径较高，可以有效提高光刻分辨力；该光刻机的投影物镜的总片数较少，且未采用非球面，可以在有效平衡像差的同时，降低加工装配的难度；该光刻机的投影物镜的光学共轭距较短，可以很好地集成入小型化光刻设备之中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 桌面 stepper 光刻 投影 物镜 | ||
【主权项】：
一种用于桌面STEPPER光刻机的投影物镜，其特征是该光刻投影物镜物象共轭距L＝500mm；从入射方向开始到光阑前，为第一透镜组，依次设置L1～L7共7枚镜片，其中第2枚即镜片L2、第6枚即镜片L6为负透镜，其余镜片均为正透镜；从光阑开始到像面前，为第二透镜组，依次设置L8～L14共7枚镜片，其中第9枚即镜片L9、第13枚即镜片L13为负透镜，其余镜片均为正透镜；第一透镜组与第二透镜组镜片类型关于光阑成镜像对称，构成双远心结构，物方、像方远心度均控制在±0.5度以内。
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