[发明专利]一种制备厚膜SnO2气敏元件的方法

摘要

制备厚膜SnO₂气敏元件的方法，属于电气元件制备领域，包括如下步骤：（1）将分析纯SCl₄·5H₂O用去离子水配制溶液；室温下搅拌同时向溶液中滴入纯氨水，形成白色胶状沉淀时，加入有机分散剂，pH值接近3时停止滴加氨水，继续搅拌后静置；（2）用去离子水充分洗涤，至滤液中无Cl^—；用无水乙醇洗涤沉淀物2~3次，经超声分散后置于烘箱，加热处理后得SnO₂纳米粉体；（3）在SnO₂粉体中加添加剂和无机粘结剂；充分球磨混合后，用有机粘结剂和粉料调制成丝网印刷厚膜浆料；在已制备好铂电极的氧化铝基片上印制SnO₂膜；（4）烧结炉中对其进行热处理电老化。通过对其工艺过程的改进，使所得气敏元件的灵敏度大幅提高，适用的范围也得到扩大，本方法操作简单且易于推广使用。

主权项

一种制备厚膜SnO₂气敏元件的方法，其特征在于包括如下步骤：（1）将分析纯SCl₄·5H₂O用去离子水配制成一定浓度的溶液；在室温下，剧烈搅拌的同时向溶液中缓慢滴入w(NH₃)约为25%的分析纯氨水，开始形成白色胶状沉淀时，加入有机分散剂，pH值接近3时停止滴加氨水，继续搅拌后静置；（2）随后用去离子水充分洗涤，直至滤液中无Cl^—为止；用无水乙醇洗涤沉淀物2~3次，经超声分散后，置于烘箱中，加热处理后即制得SnO₂纳米粉体；（3）在SnO₂粉体中加入适量添加剂和少量无机粘结剂；充分球磨混合后，用有机粘结剂和粉料调制成丝网印刷厚膜浆料；用手动精密丝网印刷机在已制备好铂电极的氧化铝基片上印制SnO₂膜；（4）待浆料充分干燥后，在烧结炉中，对其进行热处理进行电老化。