[发明专利]制造功能性基板的方法和功能性基板有效
申请号: | 201410544633.9 | 申请日: | 2014-10-15 |
公开(公告)号: | CN104362100B | 公开(公告)日: | 2017-11-14 |
发明(设计)人: | 申宇慈 | 申请(专利权)人: | 申宇慈 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48 |
代理公司: | 北京聿宏知识产权代理有限公司11372 | 代理人: | 吴大建,刘华联 |
地址: | 014040 内蒙古自治区包头*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本发明公开一种经由功能性柱体集成体制造功能性基板的方法和功能性基板。所述的功能性柱体集成体由多个功能性柱体集成,所述的功能性基板由所述的功能性柱体集成体分割成片制成;其中的功能性柱体包括柱状半导体材料、柱状磁性材料、导线集成体、导线柱体集成体、被动电子元件电柱体、或者变压器柱体。本发明的实施例包括经由硅柱导线集成体制成的硅柱导线柱体集成体,经由被动电子元件柱体和导线柱体制成的被动电子元件柱体导线柱体集成体。本发明的功能性基板可使集成电路半导体封装的结构和性能设计更加灵活和高效。 | ||
搜索关键词: | 制造 功能 性基板 方法 | ||
【主权项】:
一种制造功能性基板的方法,该方法包括如下步骤:a)提供功能性柱体;b)把多个功能性柱体按照设定的间距和分布图案相互平行地排列在一起;c)把所述已排列好的多个功能性柱体通过设定的条件固化成一个整体,从而制成一个含有多个功能性柱体的功能性柱体集成体;d)把所述功能性柱体集成体分割成片,从而制成多片功能性基板。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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