[发明专利]薄膜晶体管基板与显示器有效
申请号: | 201410544999.6 | 申请日: | 2014-10-15 |
公开(公告)号: | CN105575973B | 公开(公告)日: | 2019-01-04 |
发明(设计)人: | 李冠锋;颜子旻 | 申请(专利权)人: | 群创光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种薄膜晶体管基板与显示器,该薄膜晶体管基板包括:基板;栅极,位于基板上;栅极绝缘层,位于基板上且覆盖栅极;主动层,配置于栅极绝缘层上;蚀刻停止层,位于主动层与栅极绝缘层上;第一开口,穿过该蚀刻停止层并露出该主动层的第一部分;源极,位于蚀刻停止层上,并经由第一开口电连接至主动层的第一部分;第一无机绝缘层,位于源极与蚀刻停止层上;第二开口,穿过第一无机绝缘层与蚀刻停止层并露出主动层的第二部分;阻障层,位于第二开口的侧壁与底部上且接触主动层的第二部分;有机绝缘层,位于第一无机绝缘层上;第三开口,穿过有机绝缘层并露出阻障层;透明电极,位于部分有机绝缘层上且经由第三开口接触阻障层。 | ||
搜索关键词: | 薄膜晶体管 显示器 | ||
【主权项】:
1.一种薄膜晶体管基板,包括:基板;栅极,位于该基板上;栅极绝缘层,位于该基板上且覆盖该栅极;主动层,配置于该栅极绝缘层上;蚀刻停止层,位于该主动层与该栅极绝缘层上;第一开口,穿过该蚀刻停止层并露出该主动层的一第一部分;源极,位于该蚀刻停止层上,并经由该第一开口电连接至该第一部分;第一无机绝缘层,位于该源极与该蚀刻停止层上;第二开口,穿过该第一无机绝缘层与该蚀刻停止层并露出该主动层的一第二部分;阻障层,位于该第二开口的侧壁与底部上且接触该第二部分;有机绝缘层,位于该第一无机绝缘层上;第三开口,穿过该有机绝缘层并露出该阻障层;以及透明电极,位于部分该有机绝缘层上且经由该第三开口接触该阻障层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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