[发明专利]一种控制微纳结构倒伏的方法有效

专利信息
申请号: 201410546257.7 申请日: 2014-10-15
公开(公告)号: CN104386646A 公开(公告)日: 2015-03-04
发明(设计)人: 刘刚;熊瑛;田扬超;侯双月 申请(专利权)人: 中国科学技术大学
主分类号: B81C1/00 分类号: B81C1/00
代理公司: 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 代理人: 杨学明;孟卜娟
地址: 230026 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种控制微纳结构倒伏的方法,通过添加辅助结构使得加工的大高宽比微纳结构在干燥过程中受控倒伏,利用微纳结构有规律的倒伏来实现微纳结构的加工。微纳结构受表面张力的作用是相互靠近的,在其周围添加辅助结构来限制他们在某些方向上的运动,可以控制微纳结构朝着所需的方向倒伏,本发明基于现有工艺,通过将干燥过程带来的微纳结构不可控的无规倒伏变为可控的有规律倒伏来满足加工的需求。
搜索关键词: 一种 控制 结构 倒伏 方法
【主权项】:
一种控制微纳结构倒伏的方法,其特征是:该方法在所需的微纳结构中添加辅助结构来控制其倒伏方向;微纳结构受表面张力的作用是相互靠近的,在其周围添加辅助结构来限制他们在某些方向上的运动,可以控制微纳结构朝着所需的方向倒伏,该辅助结构的设计要求为:根据所需图形的形状、尺寸来设计辅助结构的形状、尺寸,根据微纳结构需要倒伏的方向设计辅助结构的位置。
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