[发明专利]一种基于单根多壁碳管的非易失性存储器及其制备方法

摘要

一种基于单根多壁碳管的非易失性存储器及其制备方法。所述存储器元器件包括基底以及形成于基底上的第一电极、第二电极、第三电极和处于悬空状态的多壁碳管，其中，第一电极用于执行“读”功能；第二电极用于执行“写”功能；第三电极用于执行“擦”功能；多壁碳管的一端固定在第一电极中，另一端开口、悬空。多壁碳管中开口端内层碳管拉出后的长度能够接触到所述第二电极。第三电极加电压能将内层碳管拉回使其与第二电极断开接触。本发明的非易失性存储器具有密度高、速度快、功耗低和可靠性高的特点，从而展现了更为优越的性能和发展潜力。

主权项

一种基于单根多壁碳管的非易失性存储器，包括：基底；第一电极，形成于所述基底上，用于执行“读”功能；第二电极，形成于所述基底上，用于执行“写”功能；第三电极，形成于所述基底上，用于执行“擦”功能；多壁碳管，所述多壁碳管的固定端固定在所述第一电极中，所述多壁碳管的开口端悬空，开口端的内层碳管能被抽出并与第二电极接触；所述第三电极位于所述第一电极和第二电极的中间靠外侧，将第三电极加电压后，能将所述多壁碳管的内层碳管拉回。