[发明专利]一种PVDF基高压电系数薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201410546469.5 | 申请日： | 2014-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN104409626A | 公开（公告）日： | 2015-03-11 |
| 发明（设计）人： | 赵晓林;王建禄;孟祥建;孙硕;沈宏;韩莉;孙璟兰;褚君浩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | H01L41/45 | 分类号： | H01L41/45;C08J5/18;C08L27/16 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种PVDF基高压电系数薄膜的制备方法。其特征在于，将PVDF基有机铁电聚合物溶入二甲基亚砜溶液中，通过朗缪尔-布罗基特方法，逐层交替地将不同的PVDF基有机铁电聚合物转移至衬底上，经过退火处理，去除界面残留溶剂及保证薄膜具有良好结晶特性，形成一种PVDF基有机聚合物复合结构。本发明制备PVDF基高压电系数薄膜结构，方法及工艺简单，可精确控制单层薄膜厚度，为研究PVDF基有机铁电聚合物复合结构的压电性能提供了保证。实验发现，PVDF基有机铁电聚合物复合结构的压电系数得到显著提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pvdf 高压电 系数 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种PVDF基高压电系数薄膜的制备方法，其特征包括以下步骤：(1)将衬底材料清洗干净保证其表面的平整度，并做表面疏水处理；(2)将不同PVDF基有机铁电聚合物溶液滴均匀铺入朗缪尔‑布罗基特设备已经注入静置超纯水的液体槽中，待PVDF基有机铁电聚合物均匀分布在液面，并通过挤压成膜的液面，通过控制液面表面压力使薄膜成膜连续；(3)将连续薄膜通过水平转移朗缪尔‑布罗基特方法转移至衬底上，通过交替转移不同PVDF基有机铁电聚合物薄膜，重复一定周期，并将生长的交替薄膜经过退火处理，薄膜的退火温度110‑135℃，维持4小时后，冷却至室温，便形成PVDF基高压电系数薄膜。
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