[发明专利]电控自动化光电测试装置

摘要

本发明提供了一种电控自动化光电测试装置，涉及光电芯片测试领域，通过电控系统，利用参数输入单元将测试条件参数输入给电控单元，电控单元控制转轮组、升降台和旋转装置进行旋转或移动，分别调整光源的光强、波长、待测器件到出光口的水平距离、以及待测器件接收到的入射光的角度，从而避免了现有的光电测试装置在测试时繁琐的调整过程，实现了测试条件的自动化控制，简化了测试过程，缩短了测试时间；并且，一站式自动化控制，可以避免现有测试过程中频繁设置导致的遗漏和错误现象的发生，提高了测试的准确性。

主权项

一种电控自动化光电测试装置，其特征在于，包括：测试系统和电控系统；所述测试系统包括：积分球光源，其包括积分球、光源和出光口，积分球将光源均匀化后，通过出光口输送给转轮组；转轮组，与所述出光口相对，包含装载有衰减片的光强调节转轮和装载有滤波片的波长调节转轮，分别用于调整所述光源的光强和波长；导轨，其上安装有升降台和旋转装置，所述升降台用于装载待测器件，所述待测器件接收来自所述转轮组的入射光；通过控制所述升降台沿所述导轨移动而控制所述待测器件到所述出光口的水平距离，通过控制旋转装置的旋转带动所述待测器件进行旋转，进而控制所述待测器件所接收到的入射光的角度；所述电控系统包括：参数输入单元，与电控单元相连，通过所述参数输入单元将测试参数输入到所述电控单元中；电控单元，与所述转轮组、所述升降台和所述旋转装置相电连，根据所述输入的参数控制所述转轮组、所述升降台和所述旋转装置作出相应的动作；数据采集单元，与所述待测器件相电连，对所检测得到的数据进行采集和分析。