[发明专利]中阶梯光栅在扫描型光谱仪器中的应用

摘要

本发明提供了一种中阶梯光栅在扫描型光谱仪器中的应用，属于扫描型光谱仪器技术领域。本发明入射光经第一凹面反光镜聚焦反射，经第一平面反光镜反射，在第一狭缝处聚焦；入射光经第一狭缝进入第一分光器，经第二平面反光镜反射到凹面光栅，凹面光栅通过旋转，进行波长选择、反射聚焦到第二狭缝；入射光经第二狭缝进入第二分光器，经第二凹面反光镜反射汇聚成平行光到中阶梯光栅，中阶梯光栅通过旋转，进行级次选择、反射到第三凹面反光镜，经第三凹面反光镜反射聚焦到出射狭缝。本发明将中阶梯光栅作为主分光元件，通过高级次光谱实现较高的光谱色散和理想的光学分辨率。使用中阶梯光栅能够把分光器设计的很小。

主权项

一种中阶梯光栅在扫描型光谱仪器中的应用，其特征在于，包括：外光路、第一分光器和第二分光器；所述外光路包括第一凹面反光镜（2）、第一平面反光镜（3）和第一狭缝（4），入射光经第一凹面反光镜（2）聚焦反射，经第一平面反光镜（3）反射，在第一狭缝（4）处聚焦；所述第一分光器包括第一狭缝（4）、第二平面反光镜（5）、凹面光栅（6）和第二狭缝（7），入射光经第一狭缝（4）进入第一分光器，经第二平面反光镜（5）反射到凹面光栅（6），凹面光栅（6）通过旋转，进行波长选择、反射聚焦到第二狭缝（7）；所述第二分光器包括第二狭缝（7）、第二凹面反光镜（8）、中阶梯光栅（9）、第三凹面反光镜（10）和出射狭缝（11），入射光经第二狭缝（7）进入第二分光器，经第二凹面反光镜（8）反射汇聚成平行光到中阶梯光栅（9），中阶梯光栅（9）通过旋转，进行级次选择、反射到第三凹面反光镜（10），经第三凹面反光镜（10）反射聚焦到出射狭缝（11）。