[发明专利]气体注射单元以及包含所述气体注射单元的热处理设备

摘要

提供一种气体注射单元以及一种包含气体注射单元的热处理设备。经配置以将惰性气体注射到衬底上的气体注射单元包含：气体注射块，气体注射块具有气体注射空间，惰性气体穿过气体注射空间，并且气体注射块具有注射狭缝，注射狭缝界定在下侧中、具有在衬底的一个方向上延伸的线形状，并且允许惰性气体穿过注射狭缝，以便朝向衬底引导惰性气体；以及气体供应部件，气体供应部件包含第一储箱，第一储箱在注射狭缝的延伸方向上延伸，并且在第一储箱的中心方向上具有从第一储箱的两个端逐渐地减小的内径，惰性气体是通过两个端被引入，气体供应部件布置在气体注射块内并且连接到气体注射空间，以将惰性气体供应到气体注射空间中。

主权项

1.一种经配置以将惰性气体注射到衬底上的气体注射单元，所述气体注射单元包括：气体注射块，所述气体注射块具有气体注射空间，所述惰性气体穿过所述气体注射空间，并且所述气体注射块具有注射狭缝，所述注射狭缝界定在下侧中、具有在所述衬底的一个方向上延伸的线形状，并且允许所述惰性气体穿过所述注射狭缝，以便朝向所述衬底引导所述惰性气体；以及气体供应部件，所述气体供应部件包括第一储箱，所述第一储箱在所述注射狭缝的延伸方向上延伸，并且在所述第一储箱的中心方向上具有从所述第一储箱的相对侧壁的两个端逐渐地减小的内径，所述惰性气体是通过所述两个端被引入，所述气体供应部件布置在所述气体注射块内并且连接到所述气体注射空间，以将所述惰性气体供应到所述气体注射空间中。