[发明专利]二维纳米柔性运动平台有效
| 申请号： | 201410564477.2 | 申请日： | 2014-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN104464839A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 张震;王鹏;闫鹏 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G12B9/10 | 分类号： | G12B9/10;G12B5/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种二维纳米柔性运动平台。所述二维纳米柔性运动平台包括：基座；终端平台，所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧；X向驱动器和Y向驱动器；第一X向柔性解耦件和第一柔性解耦件，所述第一X向柔性解耦件沿X向延伸且分别与所述终端平台和所述X向驱动器相连，所述第一柔性解耦件具有折弯部且分别与所述基座和所述X向驱动器相连；以及第二柔性解耦件和第一Y向柔性解耦件，所述第二柔性解耦件具有折弯部且分别与所述基座和所述Y向驱动器相连，所述第一Y向柔性解耦件沿Y向延伸且分别与所述终端平台和所述Y向驱动器相连。根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台兼具厘米级大行程和纳米级精度的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 二维 纳米 柔性 运动 平台 | ||
【主权项】：
一种二维纳米柔性运动平台，其特征在于，包括：基座；终端平台，所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧；X向驱动器和Y向驱动器；第一X向柔性解耦件和第一柔性解耦件，所述第一X向柔性解耦件沿X向延伸且分别与所述终端平台和所述X向驱动器相连，所述第一柔性解耦件具有折弯部且分别与所述基座和所述X向驱动器相连；以及第二柔性解耦件和第一Y向柔性解耦件，所述第二柔性解耦件具有折弯部且分别与所述基座和所述Y向驱动器相连，所述第一Y向柔性解耦件沿Y向延伸且分别与所述终端平台和所述Y向驱动器相连。
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