[发明专利]一种厚度测量方法及厚度测量系统有效
| 申请号： | 201410566354.2 | 申请日： | 2014-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN104330063A | 公开（公告）日： | 2015-02-04 |
| 发明（设计）人： | 赵刚 | 申请（专利权）人： | 北京市东方瀚钇科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B15/02 | 分类号： | G01B15/02;G01B11/06;G01B7/06 |
| 代理公司： | 北京卫平智业专利代理事务所(普通合伙) 11392 | 代理人： | 符彦慈 |
| 地址： | 102200 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种厚度测量方法及厚度测量系统，厚度测量方法采用至少2组测量装置对被测产品进行厚度测量，各组测量装置的量程范围互不相同，至少采用1组X射线测量装置进行小量程测量。一种厚度测量系统，包括至少两组具有不同量程范围的测量装置，其中至少有1组测量装置为X射线测量装置，X射线测量装置为小量程测量装置。本发明采用至少2组测量装置，其中至少1组是X射线测量装置，既保证了最终产品的测量精度，也降低了X射线测量装置的输出功率，减少了辐射，也没有测量量程的限制，对产品加工提供了更佳的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 厚度 测量方法 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种厚度测量方法，其特征在于，采用至少2组测量装置对被测产品进行厚度测量，各组测量装置的量程范围互不相同，至少采用1组X射线测量装置进行小量程测量。
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