[发明专利]自动频率调谐阻抗匹配的匹配频率的获取方法和装置

摘要

本发明提供了一种自动频率调谐阻抗匹配的方法及装置。在该方法中，基于预设参数与RF频率的非线性函数关系，根据最先设置的三步调谐频率以及该最先设置的三步调谐频率对应的预设参数值可以获取到下一步的调谐频率，然后利用预设算法依次逐步获取下一步的调谐频率直至获取到匹配频率。因而在本发明提供的阻抗匹配的自动频率调谐方法中，调谐过程中除了三个最先设定的调谐频率外，其后续每一步的调谐频率都不是一个预先设定的值，该调谐频率是根据其上一步的调谐频率以及该调谐频率下的预设参数值对RF频率的反应动态得出的。该自动频率调谐方法无需对RF频率的整个范围进行逐级扫描。因而本发明提供的方法提高了调谐效率。

主权项

一种自动频率调谐阻抗匹配的匹配频率的获取方法，其特征在于，包括：A、设置频率调谐过程中的第i步频率fi、第j步频率fj和第k步频率fk；其中，j＝i+1，k＝j+1，i、j和k均为整数；B、分别获取与第i步频率fi、第j步频率fj和第k步频率fk对应的预设参数的第i参数值P_fi、第j参数值P_fj和第k参数值P_fk；其中，所述预设参数为与负载阻抗相关的任意一个参数；所述预设参数与RF频率的关系为非线性函数关系，所述非线性函数为具有极值的非线性函数；C、根据所述第i步频率fi、第j步频率fj和第k步频率fk以及所述预设参数的第i参数值P_fi、第j参数值P_fj和第k参数值P_fk以及预设算法，计算第q步频率调谐的频率fq；其中，q＝k+1，q为整数；所述预设算法具有收敛性；D、将所述第j步频率fj更新为第i步频率fi，将所述第k步频率fk更新为第j步频率fj，将所述第q步频率fq更新为第k步频率fk；E、判断所述fk与fj之差的绝对值是否小于第一阈值和/或所述P_fj与P_fk之差的绝对值是否小于第二阈值，以确定所述fk为匹配频率；当所述fk与fj之差的绝对值小于第一阈值和/或所述P_fj与P_fk之差的绝对值小于第二阈值时，确定所述fk为匹配频率；当所述fk与fj之差的绝对值不小于第一阈值且当所述P_fj与P_fk之差的绝对值不小于第二阈值时，循环执行步骤C至步骤E，直至所述fk与fj之差的绝对值小于第一阈值和/或所述P_fj与P_fk之差的绝对值小于第二阈值。