[发明专利]一种多晶铸锭籽晶熔化控制方法及多晶硅铸锭炉

摘要

本发明提供了一种多晶铸锭籽晶熔化控制方法，包括以下步骤(1)在坩埚底部铺设籽晶；在所述籽晶表面装入多晶硅原料，控制热场和工艺，使所述籽晶和所述多晶硅原料自上至下逐步熔化；(2)利用热电偶获取坩埚底部边角部位的温度信号；所述温度信号为所述坩埚底部边角部位的温度、温度变化的斜率和温度变化的累积斜率中的至少一种；(3)根据获取到的所述温度信号，判断所述籽晶熔化的高度；当所述温度信号出现突然上升的突变点时，表示籽晶熔化至设定高度，此时控制热场和工艺，进入长晶阶段。该方法解决了现有技术坩埚侧壁的热电偶很容易受侧部加热器的热辐射影响的问题，可以更加准确地控制籽晶的熔化状态，本发明还提供了一种多晶硅铸锭炉。

主权项

一种多晶硅铸锭炉，包括隔热笼、置于所述隔热笼内的热交换台、放置在所述热交换台上的坩埚、支撑热交换台的石墨支撑柱，其特征在于，还包括设置在坩埚底部边角部位的热电偶，所述热电偶位于所述坩埚下方，所述热电偶通过一支架固定在所述石墨支撑柱上，所述支架包括热电偶套管、连接管和支撑柱套管，所述连接管两端分别连接热电偶套管和支撑柱套管，所述支撑柱套管套设在所述石墨支撑柱外表面且可以以所述石墨支撑柱为轴进行旋转，所述热电偶包括测温端和固定端，所述热电偶套管套设在所述热电偶的固定端的外表面，所述热电偶的固定端的端面设有一滑块，所述滑块与所述热电偶套管的内管壁滑动连接，与所述热电偶固定端固定连接。