[发明专利]一种用于离子束刻蚀机的大口径平行束离子源有效
| 申请号： | 201410569130.7 | 申请日： | 2014-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN104362065B | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 孙雪平;佘鹏程;彭立波;陈特超;张赛;毛朝斌;胡凡 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司43113 | 代理人： | 马强,李发军 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于离子束刻蚀机的大口径平行束离子源。所述大口径平行束离子源主要由安装法兰、支杆、放电室、磁场部件、阳极、放电灯丝、中和灯丝、内罩以及绝缘件组成。磁场部件安装在放电室底部，阳极及放电灯丝安装在放电室内，栅网部件安装在放电室出口。本发明离子源所用磁场部件磁场区域大于放电室内径，放电灯丝及阳极高度可调，可根据实际工艺实验获取最佳位置，从而提高离子源出口离子束的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 离子束 刻蚀 口径 平行 离子源 | ||
【主权项】：
一种用于离子束刻蚀机的大口径平行束离子源，其特征是，包括安装法兰（1），装在安装法兰（1）上表面的真空电极（22），通过支杆（2）装在安装法兰（1）上的磁场部件（3），装在磁场部件（3）上部的放电室（4），以及设置在放电室（4）内的阳极（9）和放电灯丝（8）；所述阳极（9）固定在磁场部件（3）顶部并与之绝缘隔离，该磁场部件（3）为放电室（4）提供径向平行磁场；所述磁场部件（3）和放电室（4）外设有包绕的内罩（5），该内罩（5）顶部装有用于安装中和灯丝（6）的中和灯丝安装座。
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