[发明专利]温度传感器在审
申请号: | 201410571341.4 | 申请日: | 2014-10-23 |
公开(公告)号: | CN104634471A | 公开(公告)日: | 2015-05-20 |
发明(设计)人: | 凯瑟琳·欧苏利文;安东尼·赫利希;安东尼·马赫;巴拉苏博拉马尼姆·维德海纳森;陈阳 | 申请(专利权)人: | 森萨塔科技百慕大有限公司 |
主分类号: | G01K7/18 | 分类号: | G01K7/18 |
代理公司: | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人: | 马佑平;马铁良 |
地址: | 百慕大汉密尔*** | 国省代码: | 百慕大群岛;BM |
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摘要: | 本发明涉及一种温度传感器,包括:衬底(1);铂电阻(2),布置在所述衬底(1)上;保护层(4),覆盖所述铂电阻(2);覆盖层(5),覆盖所述保护层(4);所述覆盖层(5)包含Al2O3和Si2O。根据本发明,所述覆盖层(5)还包含Y2O3。 | ||
搜索关键词: | 温度传感器 | ||
【主权项】:
一种温度传感器,包括:衬底(1);铂电阻(2),布置在所述衬底(1)上;保护层(4),覆盖所述铂电阻(2);覆盖层(5),覆盖所述保护层(4);所述覆盖层(5)包含Al2O3和Si2O;其特征在于,所述覆盖层(5)还包含Y2O3。
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