[发明专利]非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置有效

专利信息
申请号: 201410572503.6 申请日: 2014-10-22
公开(公告)号: CN104474855A 公开(公告)日: 2015-04-01
发明(设计)人: 王春锐;谢冀江;郭劲;潘其坤;邵春雷 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: B01D53/75 分类号: B01D53/75;B01D53/82;B01D53/68
代理公司: 长春菁华专利商标代理事务所 22210 代理人: 王丹阳
地址: 130033 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置,属于激光器放电生成物处理技术领域。解决了现有激光器尾气处理装置结构大、吸附剂装卸复杂且相互影响、不便存储运输、污染环境的问题。该装置包括金属壳及一个以上的密封的净化单元,每个净化单元包括进气管、排气管及由从下至上依次排列的第一过渡仓室、第一仓室、第二仓室、第三仓室和第二过渡仓室组成的吸附剂仓室;金属壳上设有分别与第一仓室、第二仓室、第三仓室贯通的填料口,通过填料口分别装填和卸载第一仓室、第二仓室、第三仓室中的吸附剂;填料口上设有用于密封填料口的密封盖。该装置具有生成物处理彻底,设备体积小、重量轻,易于操作,方便维护,没有二次污染废水等优点。
搜索关键词: 链式 df hf 激光器 放电 生成物 小型化 处理 装置
【主权项】:
非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置,其特征在于,包括:金属壳(1)及一个以上的净化单元(2);所述净化单元(2)为密封结构,包括吸附剂仓室、进气管(3)和排气管(4);所述吸附剂仓室设定在金属壳(1)内,由从下至上依次排列的第一过渡仓室(5)、第一仓室(6)、第二仓室(7)、第三仓室(8)和第二过渡仓室(9)组成,所述第一过渡仓室(5)、第一仓室(6)、第二仓室(7)、第三仓室(8)和第二过渡仓室(9)两两之间的接触面均为过滤网(10),所述第一仓室(6)、第二仓室(7)和第三仓室(8)均用于放置吸附剂;所述进气管(3)和排气管(4)均贯穿金属壳(1),进气管(3)的一端与激光器放电生成物连通,进气管(3)的另一端与第一过渡仓室(5)连通,排气管(4)的一端与第二过渡仓室(9)连通,排气管(4)的另一端与大气连通,进气管(3)和排气管(4)上均设有密封阀;所述金属壳(1)上设有分别与第一仓室(6)、第二仓室(7)、第三仓室(8)贯通的填料口(11),通过填料口(11)分别装填和卸载第一仓室(6)、第二仓室(7)、第三仓室(8)中的吸附剂;所述填料口(11)上设有用于密封填料口(11)的密封盖(12)。
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