[发明专利]缓冲氧化腐蚀液制备方法有效
| 申请号： | 201410574838.1 | 申请日： | 2014-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN104388091A | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 朱祥龙 | 申请（专利权）人： | 江阴市化学试剂厂有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/00 | 分类号： | C09K13/00;C23F1/14 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人： | 唐纫兰;隋玲玲 |
| 地址： | 214421 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种缓冲氧化腐蚀液制备方法，其特征在于所述方法是先将40%的高纯氢氟酸加入到反应釜中，然后将99.9%的高纯氨气经过水洗后，通入到反应釜中进行反应，并通过反应釜的内盘管进行冷却，再添加占釜内液体总质量万分之0.1-0.5的表面活性剂，混合均匀，过滤出料即可；所述表面活性剂由表面活性剂op-10：表面活性剂TX-6：聚乙二醇：三聚甘油单硬脂酸酯=1:0.1-10:1-3:0.2-0.8的质量比配合而成。本发明缓冲氧化腐蚀液制备方法通过添加表面活性剂，制备出的缓冲氧化腐蚀液具有低表面张力，使得其能够用于腐蚀硅基片表面小孔径。 | ||
| 搜索关键词： | 缓冲 氧化 腐蚀 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种缓冲氧化腐蚀液制备方法，其特征在于所述方法是先将40%的电子级氢氟酸加入到反应釜中，然后将99.9%的高纯氨气经过水洗后，通入到反应釜中进行反应，并通过反应釜的内盘管进行冷却，再添加占釜内液体总质量万分之0.1‑2的表面活性剂，混合均匀，过滤出料即可；所述表面活性剂由表面活性剂op‑10：表面活性剂TX‑6：聚乙二醇：三聚甘油单硬脂酸酯=1:0.1‑10:1‑3:0.2‑0.8的质量比配合而成。
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