[发明专利]一种提高MOS管击穿电压的结构在审
申请号: | 201410577720.4 | 申请日: | 2014-10-24 |
公开(公告)号: | CN104362173A | 公开(公告)日: | 2015-02-18 |
发明(设计)人: | 李建成;尚靖;李聪;李文晓;王震;郑黎明;曾祥华;吴建飞 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军国防科学技术大学 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/36 |
代理公司: | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人: | 胡伟华 |
地址: | 410073 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种提高MOS管击穿电压的结构,包括具有第一掺杂类型的硅衬底,所述硅衬底上设置有阱区,所述阱区内设置有源区和漏区,所述源区与漏区之间形成沟道,所述阱上设置有多晶,所述硅衬底与多晶之间形成氧化层;所述阱区内为第一掺杂类型,所述源区内为高浓度第二掺杂类型,所述漏区中远离所述沟道的一端为高浓度第二掺杂类型,所述漏区中靠近所述源区的一端为低浓度第二掺杂类型,所述多晶内为第二掺杂类型。本发明具有小幅度提高器件的击穿电压,增强电路的可靠性的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 提高 mos 击穿 电压 结构 | ||
【主权项】:
一种提高MOS管击穿电压的结构,其特征在于,包括具有P型掺杂的硅衬底,所述硅衬底上设置有阱区,所述阱区内设置有源区和漏区,所述源区与漏区之间形成沟道,所述阱区上设置有多晶,所述硅衬底与多晶之间形成氧化层;所述阱区内为P型掺杂,所述源区内为高浓度N型掺杂,所述漏区中远离所述沟道的一端为高浓度N型掺杂,所述漏区中靠近所述沟道的一端为低浓度N型掺杂,所述多晶内为N型掺杂。
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