[发明专利]一种提高MOS管击穿电压的结构在审

专利信息
申请号: 201410577720.4 申请日: 2014-10-24
公开(公告)号: CN104362173A 公开(公告)日: 2015-02-18
发明(设计)人: 李建成;尚靖;李聪;李文晓;王震;郑黎明;曾祥华;吴建飞 申请(专利权)人: 中国人民解放军国防科学技术大学
主分类号: H01L29/06 分类号: H01L29/06;H01L29/36
代理公司: 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 代理人: 胡伟华
地址: 410073 湖*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种提高MOS管击穿电压的结构,包括具有第一掺杂类型的硅衬底,所述硅衬底上设置有阱区,所述阱区内设置有源区和漏区,所述源区与漏区之间形成沟道,所述阱上设置有多晶,所述硅衬底与多晶之间形成氧化层;所述阱区内为第一掺杂类型,所述源区内为高浓度第二掺杂类型,所述漏区中远离所述沟道的一端为高浓度第二掺杂类型,所述漏区中靠近所述源区的一端为低浓度第二掺杂类型,所述多晶内为第二掺杂类型。本发明具有小幅度提高器件的击穿电压,增强电路的可靠性的优点。
搜索关键词: 一种 提高 mos 击穿 电压 结构
【主权项】:
一种提高MOS管击穿电压的结构,其特征在于,包括具有P型掺杂的硅衬底,所述硅衬底上设置有阱区,所述阱区内设置有源区和漏区,所述源区与漏区之间形成沟道,所述阱区上设置有多晶,所述硅衬底与多晶之间形成氧化层;所述阱区内为P型掺杂,所述源区内为高浓度N型掺杂,所述漏区中远离所述沟道的一端为高浓度N型掺杂,所述漏区中靠近所述沟道的一端为低浓度N型掺杂,所述多晶内为N型掺杂。
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