[发明专利]激光辅助化学混合镀实现二维表面金属结构的方法

摘要

一种激光辅助化学混合镀实现二维表面金属结构的方法，该方法包含以下步骤：①二维结构制作；②激光辅助还原；③清洗；④化学镀；⑤后清洗。本发明可在硬质基底或柔性衬底上制作二维的金属合金结构，制作的铜镍合金理论上同时具备导电和导磁的性质，在电磁屏蔽、微流控芯片、集成电路等微纳器件领域有很高的应用价值。

主权项

一种激光辅助化学混合镀实现二维表面金属结构的方法，其特征在于该方法包含以下步骤： ①二维结构制作：在将清洗过的基底上利用微纳加工技术加工表面二维网栅结构； ②激光辅助还原：将制备有二维网栅结构的基底浸入到硝酸银溶液中；该硝酸银溶液的浓度为0.1mol/L～1mol/L；硝酸银溶液高于基底上表面2mm以下；利用飞秒激光在所述基底的二维网栅结构上辐照，实现结构上金属银的还原； ③清洗：利用去离子水对激光还原后存在金属银的二维网栅结构的基底进行冲洗，除去基底上残留的硝酸银溶液； ④化学镀：对激光辅助还原清洗后的基底进行铜镍合金化学混合镀，采用的化学镀液的成分和浓度如下： 采用PH值为13的NaOH溶液对所述的化学镀液的PH值进行调节，使所述的化学镀液的PH值为12.5，镀液放置在带有搅拌的水浴锅内，镀液温度为60°～90°，将激光还原存在金属银的二维结构经过清洗后置于水浴锅内，同时伴随着搅拌，搅拌速度为600～800rpm/min，化学镀时间为1～2h； ⑤后清洗：利用去离子水、乙醇、丙酮分别对已镀铜镍合金的基底冲洗，除去表面存留的化学镀溶液。