[发明专利]厚膜基板无焊料共晶贴装方法有效
申请号: | 201410579029.X | 申请日: | 2014-10-27 |
公开(公告)号: | CN104319242A | 公开(公告)日: | 2015-01-28 |
发明(设计)人: | 李杰;车勤;陈希龙;刘昕 | 申请(专利权)人: | 中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林;耿英 |
地址: | 215163 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种厚膜基板无焊料共晶贴装方法,对基板进行加热,使用芯片吸头拾取芯片,并将芯片对准基板上的焊接区域,在焊接区域上按一定方向进行摩擦,直至芯片的硅材料与基板的金熔合形成金硅共晶体,冷却后形成焊接界面。本发明实现无焊料的共晶焊焊接,有效的降低成本;芯片与基板直接熔合,具有较高的导电率和导热率,改善了电路的性能,可以用于大功率电路;无须进行焊料的涂覆、印刷、焊片的裁剪,生产效率得以提高;芯片硅材料直接与基板导体熔合,具有较高的机械强度和长期可靠性,不会产生放气和二次污染,可以用于高可靠性应用场合。 | ||
搜索关键词: | 厚膜基板无 焊料 共晶贴装 方法 | ||
【主权项】:
一种厚膜基板无焊料共晶贴装方法,其特征是,包括以下步骤:1)基板加热:将基板加热到金-硅共晶体临界温度以上;2)拾取芯片:由贴装设备上的芯片吸头夹持芯片边缘,通过真空吸附拾取芯片;3)摩擦贴装:在基板的焊接区域上将芯片与基板进行摩擦,芯片的硅材料与基板的金熔合形成金-硅共晶体;4)冷却:冷却后形成焊接界面,使芯片焊接至基板上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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