[发明专利]传感器元件、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置在审
| 申请号： | 201410589610.X | 申请日： | 2014-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN104596679A | 公开（公告）日： | 2015-05-06 |
| 发明（设计）人： | 河合宏纪;神谷俊幸;松沢明 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;B25J19/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;李洋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供传感器元件、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置，其中，电荷输出元件具有：第1传感器，其具有由Y型切割水晶板构成的第1压电板、和分别设置于该第1压电板的两面的第1电极层；第2传感器，其具有由X型切割水晶板构成的第2压电板、和分别设置于该第2压电板的两面的第2电极层；以及第3传感器，其具有由Y型切割水晶板构成的第3压电板、和分别设置于该第3压电板的两面的第3电极层，并具备将第1传感器、第2传感器以及第3传感器沿层叠方向层叠的层叠体。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 元件 检测 装置 机器人 电子 部件 输送 检查 以及 加工 | ||
【主权项】：
一种传感器元件，其特征在于，具备层叠体，所述层叠体沿层叠方向层叠有多个传感器，所述传感器具有：由水晶板构成的至少1张压电板；和分别设置于该压电板的两面的电极层，所述层叠体具有将各个所述传感器沿所述层叠方向接合的接合层。
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