[发明专利]声表面波器件、电子设备以及传感器装置

摘要

一种声表面波器件、电子设备以及传感器装置，其能够在维持工作温度范围内的SAW器件的优秀的频率温度特性的同时，抑制由于回流焊接安装时的高温、和使用时或环境的温度变化而导致的频率变化，从而使可靠性提高。SAW器件(1)具有：IDT(3)，其在欧拉角为(－1.5°≤φ≤1.5°，117°≤θ≤142°，ψ)的水晶基板(2)的主面上，对阻带上限模式的SAW进行激振；电极指间槽(8)，其凹设在IDT的电极指(6a，6b)之间。当欧拉角ψ为42.79°≤│ψ│≤49.57°时，IDT电极指膜厚H设定在0.055μm≤H≤0.335μm的范围内，优选设定在0.080μm≤H≤0.335μm的范围内。当欧拉角为|ψ|≠90°×n，且n＝0、1、2、3时，电极指膜厚H设定在0.05μm≤H≤0.20μm范围内。

主权项

一种声表面波器件，其特征在于，具有：水晶基板，其欧拉角为(－1.5°≤φ≤1.5°，117°≤θ≤142°，ψ)；叉指换能器，其由被设置于所述水晶基板的主面上的多个电极指构成，且激振阻带上限模式的声表面波；电极指间槽，其凹设在所述叉指换能器的相邻的所述电极指之间的、所述水晶基板的表面上，所述声表面波的波长λ与所述电极指间槽的深度G满足0.01λ≤G的关系，所述叉指换能器的线占有率η与所述电极指间槽的深度G满足如下式11以及式12的关系，即，式11－2.0000×G/λ+0.7200≤η≤－2.5000×G/λ+0.7775，但是，0.0100λ≤G≤0.0500λ；式12－3.5898×G/λ+0.7995≤η≤－2.5000×G/λ+0.7775，但是，0.0500λ＜G≤0.0695λ；所述欧拉角ψ满足|ψ|≠90°×n，其中，n＝0、1、2、3，所述电极指的膜厚H在0.05μm≤H＜0.20μm的范围内。