[发明专利]晶片拾取设备的视觉定位系统及其相机位置的调节方法有效
申请号: | 201410595041.X | 申请日: | 2014-10-30 |
公开(公告)号: | CN104362120A | 公开(公告)日: | 2015-02-18 |
发明(设计)人: | 杨素翠 | 申请(专利权)人: | 杨素翠 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68 |
代理公司: | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 侯蔚寰 |
地址: | 518018 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及晶片拾取设备领域,具体的说是涉及一种晶片拾取设备的视觉定位系统及其相机位置的调节方法,取消了传统的XY机械调节机构,该方法具有的有益效果是:由于XY机械调节机构中存在机械间隙,设备在高速运动时的震动会使安装在其上的相机成像质量变差,造成定位精度的降低,所以,省去XY机械调节机构会提高视觉系统的稳定性。显示器为带有主机的显示器,该显示器连接有键盘、鼠标,通过键盘、鼠标进行操作,更容易参考点移动到放晶片位置和取晶片位置。取消了传统的XY机械调节机构,降低了设备的生产成本,同时,提高了设备的工作效率、设备的精准度、设备加工晶片的合格率。 | ||
搜索关键词: | 晶片 拾取 设备 视觉 定位 系统 及其 相机 位置 调节 方法 | ||
【主权项】:
一种晶片拾取设备的视觉定位系统,其特征在于:1) 包括取晶片相机、放晶片相机、镜头、光源、显示器、电脑主机、键盘、鼠标、取晶片和放晶片相机固定装置、视觉定位软件;2) 键盘、鼠标、显示器与电脑主机相连;3) 取晶片相机被固定在取晶片相机固定座上;4) 放晶片相机被固定在放晶片相机固定座上;5) 取晶片相机下方安装有镜头和光源;6) 放晶片相机下方安装有镜头和光源;7) 取晶片相机位于取晶片位置上方;8) 放晶片相机位于放晶片位置上方;9) 显示器上显示取晶片相机连续拍摄的图像和放晶片相机连续拍摄的图像,同时,在取晶片图像上显示一个参考十字线,在放晶片图像上显示一个参考十字线;10) 视觉定位软件完成与用户交互,接收用户输入,抓取相机图像,搜索目标,计算目标位置等作用。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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