[发明专利]一种电感耦合等离子体陶瓷窗冷却装置

摘要

本发明公开了一种电感耦合等离子体陶瓷窗冷却装置，该装置包含：圆柱筒支架；与圆柱筒支架连接的绝缘板；均匀设置在绝缘板上的第一线圈；设置在绝缘板中部的第二线圈组件；设置在第二线圈组件上方的腔体顶部的风扇；与圆柱筒支架内顶部连接，环绕设置在第二线圈组件周边的多个导流环。多个导流环均匀设置在圆柱筒支架内壁。本发明通过在电感耦合等离子体陶瓷窗内设置截面呈一对直角三角形或一对直销梯形的多个导流环，使得电感耦合等离子体陶瓷窗充分冷却，确保电感耦合等离子体陶瓷窗及与其下部结合的电感耦合等离子体反应器的温差降低，使得经TSV刻蚀后的产品质量稳定，保证刻蚀的均匀性。

主权项

一种电感耦合等离子体陶瓷窗冷却装置，该冷却装置设置于电感耦合等离子体反应器（100）的容器腔体（110）顶部，使得容器腔体（110）内部密封；其特征在于，该冷却装置包含：圆柱筒支架（10），所述圆柱筒支架（10）横截面呈环形；绝缘板（20），所述绝缘板（20）与所述的圆柱筒支架（10）底部通过支撑部件固定连接，所述绝缘板（20）与所述圆柱筒支架（10）之间设有间隙；第一线圈（30），设置在所述的圆柱筒支架（10）内的所述绝缘板（20）上；第二线圈组件（40），设置在所述的绝缘板（20）上方中部，且所述第二线圈组件（40）包括圆柱状的绝缘柱腔体（41）以及绕置在所述绝缘柱腔体（41）外部的第二线圈（42）；风扇（50），固定设置在所述的圆柱筒支架（10）内顶部；多个导流环（60），均匀环绕设置在所述的圆柱筒支架（10）内壁，环绕设置在所述的第二线圈组件（40）周边。