[发明专利]微机电系统元件在审
| 申请号： | 201410597394.3 | 申请日： | 2014-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN105293425A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 陈慧伦;陈维孝;王建堂;刘楠;罗兰德.V.盖德;苏俊豪 | 申请（专利权）人： | 立景光电股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种微机电系统(MEMS)元件，包含基板以及配置于所述基板上的至少一个MEMS单元。所述MEMS单元包含至少一个第一电极、至少一个第二电极、至少一个着陆部件以及铰链层。所述第一电极配置于所述基板上。所述第二电极配置于所述基板上。所述着陆部件配置于所述基板上。所述铰链层包含铰链部分以及至少一个悬臂部分。所述铰链部分连接至所述第二电极。所述悬臂部分连接至所述铰链部分。所述悬臂部分具有第一开口以及配置于所述第一开口中且连接至所述第一开口的至少一侧的至少一个弹簧。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 元件 | ||
【主权项】：
一种微机电系统元件，包括：基板；以及至少一个微机电系统单元，配置于所述基板上，所述微机电系统单元包括：至少一个第一电极，配置于所述基板上；至少一个第二电极，配置于所述基板上；至少一个着陆部件，配置于所述基板上；以及铰链层，包括：铰链部分，连接至所述第二电极；以及至少一个悬臂部分，连接至所述铰链部分，所述悬臂部分具有第一开口以及配置于所述第一开口中且连接至所述第一开口的至少一侧的至少一个弹簧，其中当电压差存在于所述第一电极与所述第二电极之间时，所述铰链部分变形且所述弹簧因此触碰所述着陆部件。
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