[发明专利]振动片及其制造方法、角速度传感器、电子设备及移动体

摘要

本发明涉及一种振动片及其制造方法、角速度传感器、电子设备以及移动体。振动片具有检测部，所述检测部在检测时沿着压电体的厚度方向进行振动。检测部具有：第一主面(11)以及第二主面(12)，其在厚度方向Z上对置；外侧面；槽部，其在从被形成于第一主面上的开口起的深度方向上于第一主面与第二主面之间的位置处具有槽底；外侧面电极，其被形成于外侧面上；内侧面电极，其被形成于与外侧面对置的内侧面上。外侧面电极包括在厚度方向上位于第二主面侧的端面。在外侧面中的至少一个上，于从端面到第二主面的区域内，具有未形成有外侧面电极的电极非形成区域。

主权项

1.一种振动片，其特征在于，具备检测部，所述检测部包括压电体的第一主面以及相对于所述第一主面而处于所述压电体的背面的第二主面，和对所述第一主面与所述第二主面进行连接的外侧面，并且所述检测部沿着与所述第一主面交叉的方向进行振动，所述检测部具有：槽部，其在所述第一主面上设置有开口，并在从所述开口起的深度方向上，于所述第一主面与所述第二主面之间的位置处具有槽底；第一内侧面以及第二内侧面，其被设置于面向所述槽部内的内侧面上；第一外侧面以及第二外侧面，其被设置于所述外侧面上；第一内侧面电极，其被设置于所述第一内侧面上；第一外侧面电极，其被设置于所述第一外侧面上；第二内侧面电极，其被设置于所述第二内侧面上；第二外侧面电极，其被设置于所述第二外侧面上；一对主面电极，其在所述第二主面上隔开间隔而被配置，在所述第一外侧面与所述第一内侧面之间具有所述压电体，在所述第二外侧面与所述第二内侧面之间具有所述压电体，所述第一外侧面电极以及所述第二外侧面电极分别包括在从所述第一主面到所述第二主面的方向上位于所述第二主面侧的端面，所述第一外侧面以及所述第二外侧面中的至少一方在从所述端面到所述第二主面为止的区域内具有电极非形成区域，所述电极非形成区域为未设置有所述第一外侧面电极或所述第二外侧面电极的区域。