[发明专利]一种响应波长可调的紫外探测器

摘要

本发明公开了一种响应波长可调的基于Al_xGa_1-xN上石墨烯的紫外探测器，该探测器包括支撑衬底(1)，所述支撑衬底(1)上形成有Al_xGa_1-xN(2)，所述Al_xGa_1-xN(2)上形成有石墨烯层(3)，以及在所述石墨烯层(3)上形成有两端探测电极(4)，另外在所述两端探测电极(4)上分别具有超声键合的电极引线(5)。本发明提供的Al_xGa_1-xN上石墨烯的紫外探测器，充分利用了Al_xGa_1-xN对紫外光的高效吸收、界面处的界面电场对载流子的快速转移和石墨烯中载流子的快速迁移的诸多优势，且其器件工艺与现有工艺兼容性好，易于工业化应用。

主权项

一种响应波长可调的基于Al_xGa_1‑xN上石墨烯的紫外探测器，该探测器包括支撑衬底(1)，所述支撑衬底(1)上形成有Al_xGa_1‑xN(2)，所述Al_xGa_1‑xN(2)上形成有石墨烯层(3)，以及在所述石墨烯层(3)上形成有两端探测电极(4)，另外在所述两端探测电极(4)上分别具有超声键合的电极引线(5)。